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701 解决难题

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预测的缺陷。”

“第二个,也是更加棘手的是随之而来的热管理和热变形问题。”顾北舟翻到下一页,上面是复杂的热力学模拟图,“高功率激光轰击锡滴产生等离子体的过程,会释放巨大热量。这些热量不仅对收集光学元件的涂层寿命是严峻考验,更关键的是会引起光学系统乃至整个工件台的微观热变形。哪怕是纳米级别的形变,也足以让光刻精度前功尽弃,导致线路模糊或错位。目前我们的冷却系统效率根本跟不上热积累的速度。”

江岚的神情逐渐凝重起来,这的确是困扰她团队数月、让她寝食难安的核心瓶颈。

顾北舟点出的这些不仅准确概括她遇到的难题,还意识到了连锁反应的严重性。

江岚意识到,能分析到这一步,恐怕顾北舟是真的研究出了什么不得了的成果。

她迫不及待得身体前倾着急询问:“那你提出的解决思路是?”

顾北舟从容得翻到文件后方解决方案的部分:“针对光源问题,我设想了一种多级预脉冲激光优化方案。通过调整主脉冲激光之前的一系列微弱的预脉冲序列,可以更精确地控制锡滴的形状和分布,使其在受到主脉冲冲击时,能更高效地转化为理想的等离子体状态,理论上可以提升约15%的光源功率和显著改善稳定性。相关参数模拟和初步算法都在附录里。”

“至于热管理,”顾北舟声音沉稳,眼神中闪烁着自信的光芒,“我认为可以引入一种基于相位改变材料的主动式微循环散热系统。在关键的热积聚点,比如收集镜座内部,嵌入微型的PCM胶囊。当温度升高至材料熔点时,PCM吸收大量热量熔化;当系统冷却时,它又凝固放热。这种‘潜热’吸收方式,可以非常高效地平滑温度峰值,再配合优化后的微流体通道进行热量交换,能将光学元件的热变形控制在皮米级别。材料的筛选、微型化结构设计以及系统集成方案,我也做了初步的可行性分析和模拟验证。”

他娓娓道来,提出了目前整理出的最先进、最创新且具体的解决方案。

江岚越听眼睛越亮,这些想法无疑直接切中要害,让她有种柳暗花明又一村的感觉。

江岚激动得攥紧手中那份沉甸甸的文件,手指发颤得快速翻阅着里面详实的数据、复杂的公式和大量的模拟实验结果图表。

“这……舟舟,你知道你研究的这些意味着什么吗?你解决的很可能是当今国际上最前沿的光刻机技术难题,在你之前从没有人能走到这一步!尤其是这个PCM微循环


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